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真空获得设备产品和技术进展趋势

在真空设备的三大类产品：真空获得设备、真空应用设备、真空测量仪表中，真空获得设备是基础设备。人们用它来得到真空环境，以达到不同的应用目的。

我国生产真空获得设备已经有近70年的生产历史，从三十年代生产第一台抽气机到2003年底，年产各种真空泵17万台左右，经过几代人几十年的努力，目前真空获得设备的科研开发、生产制造、经营销售已经形成了体系规模。

但是目前国内真空获得产品的状况是高端产品满足不了国内市场需求，依靠进口，低端产品竞争激烈，价格低廉，利润微薄。这种局面如果不能尽快扭转，国内生产真空获得设备的企业将陷入更大的困境。

1 产品概况

真空获得设备主要包括：旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、蒸汽流真空泵、往复真空泵、当丈量到传感器涂层铣刀的反馈数据终究稳定的显现为1个线性变化的直线液环真空泵、分子泵、低温泵、离子泵、干泵、分子筛吸附泵等等。其中又以前四种产品产量最大。

(1)旋片真空泵体量庞大之下

旋片真空泵的性能指标主要有极限压力、抽气速率、噪声、比功率等。

按照我国产品的规格系列分类，旋片真空泵可以分为直联泵和皮带泵。直联泵由泵轴和电机直接联接而得名，其主服装包装时装皮革要特点是体积小，转速高。目前国内市场该泵的规格有2XZ-O.25、2XZ-O.5、2XZ-1、2XZ-2、2XZ-4、2XZ-8。由于直联泵转速较高，一般达到1400转／分，因此对旋片材料、密封件等要求高，因此一般国内产品最大做到2XZ-8，再大规格的泵生产厂应客户的特殊要求安排生产。该泵主要用于空调、电冰箱、医疗器械、科分析了选择软包材检测的拉力机时应特别关注的指标学仪器等行业。

皮带泵也是通常所说的普速泵，转速一般在 400~500转／分，体积比直联泵大出1／3左右。该泵的特点是运行可靠。目前产品规格有 2X-O·5、2X-1、2X一2、2X-4、2X-8、2X-15、2X-30、2X-70。该泵除了可单独使用外，主要与其他泵组成机组用于机械、化工、冶金、包装、造纸等各行各业。

旋片真空泵还可以按照结构分为单级和双级，其主要区别在于所得到的极限真空度不同。

(2) 罗茨真空泵

罗茨真空泵的性能指标有极限压力、抽气速率、最大允许压差、零经量最大压缩比、噪声等。罗茨真空泵主要分为普通型和带旁通阀型罗茨泵。普通型罗茨泵的规格型号为ZJ-30、ZL-70、ZJ-150、ZJ-300、ZJ-600、ZJ-1200、ZJ-2000、ZJ2500、ZJ-5000等。如用户有要求，可做到20000L／S( 即ZJ-20000)以上。带旁通阀型罗茨泵的规格型号为ZJP-30、ZLP-70、ZJP-150、ZJP-300、ZJP600、ZJP-1200、ZJP-2000、ZJP-2500、ZJP-5000等。带旁通阀罗茨泵由于在进出口之间安装了旁通阀，当进出口压差过大时，旁通阀自动打开，起到过载保护作用，因此该产品受到用户青睐。此外，还有直排大气罗茨泵、气冷罗茨泵、水封罗茨泵等等。除了直排大气罗茨泵，大多数罗茨泵不能单独使用，要与其它真空泵组成机组，才能正常工作。该泵的特点是启动快，抽气量大，抽气时间短，在冶金、化工、造纸等行业很受欢迎。

(3) 滑阀真空泵

滑阀真空泵的主要性能指标与旋片真空泵相同。

滑阀真空泵可分为单级和双级两种类型。单级滑阀泵的极限压力一般为1Pa左右，其规格型号有H-7、H-8、H-25、H-70、H-150、H-300、H-600等。双级滑阀泵的极限压力可达到0.06Pa，规格有2H-8、2H-15、2H-30、2H一70等。滑阀真空泵可以单独使用，但多数情况下与其他真空泵组成机组而广泛用于冶金、化工、电工等行业。其特点是抽气量大，运行可靠，可抽出少量可凝性气体。

(4) 油扩散泵

油扩散泵是蒸汽流真空泵中的一种，其主要性能指标有极限压力、抽气速率、临界前级压力、泵液反经率、加热时间、加热功率等。该泵与以上三种泵的抽气机理不同。它是利用蒸汽流作用产生压强差，使气体向蒸汽流中扩散，再经压缩到泵的金属五金出口，由前级泵排除。

油扩散泵可分为两个系列，直筒型和凸腔型。直筒型的规格有K-100、K-160、K-200、K-300、K-400、K-60其中0、K-800、K-1000、K-1200等。凸腔型的规格有KT-150、KT-200、KT-300、KT-320、KT-400、KT-500、KT-600、KT-800、KT-1000等。由于凸腔泵的腔体外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30％左右。油扩散泵与罗茨泵、旋片泵等组成机组，用于机械、冶金、薄膜等行业。其特点是极限真空度高，可达到1×lO-5pa，没有机械运动，可靠性好。国产油扩散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用条件。

(5) 水环真空泵

水环真空泵是液环真空泵中的一种。它以水为介质达到真空目的。其主要性能指标有最大气量、极限真空度等。